(1)功率級滑閥。由于三級伺服閥的功率級流量較大，其控制節(jié)流邊按全周邊節(jié)流邊設(shè)計。閥心行程為2mm。按設(shè)計的空載流量，從下式中計算出閥心的直徑為28mm。由于閥的流量能通過改變閥心的行程來確定，為試驗留有充分的空間，將閥心直徑確定為30mm。

式中：D為閥心直徑；Q為額定流量；C_d為滑閥流量系數(shù)；X_Y為先導(dǎo)級閥閥心的zui大位移；P-為額定壓力；ρ為油液密度。

由于三級滑閥的摩擦力將影響閥的靜態(tài)特性，故摩擦力應(yīng)盡可能小。因此三級滑閥的形位公差和表面粗糙度與一般兩級滑閥的要求一樣。滑閥設(shè)計成稍有正重疊，以減少閥在零位時由于閥心抖動對系統(tǒng)產(chǎn)生的影響。

三級閥的流量曲線如圖16所示。在遮蓋量為0.6mm時，三級閥的流量曲線有約5%左右的死區(qū)；縮小遮蓋量到0.4mm時，其三級閥流量曲線的死區(qū)范圍約為3%左右；縮小遮蓋量到0.2mm時，三級閥流量曲線已基本無死區(qū)，如圖17所示。經(jīng)過多次試驗，將遮蓋量確定為單邊0.2mm，達(dá)到設(shè)計要求。

(2)先導(dǎo)級閥。三級閥的靜、動態(tài)性能很大程度上是由前置閥的靜、動態(tài)性能決定，因此要求前置閥的分辨率高，一般應(yīng)小于0.3%。如果分辨率較差，則在閥的位置回路中易形成非線性，導(dǎo)致三級閥產(chǎn)生不規(guī)則漂移，從而影響系統(tǒng)在靜態(tài)或低頻狀態(tài)下的正常工作。另外，前置閥的負(fù)載中位壓力應(yīng)平穩(wěn)，無抖動現(xiàn)象，否則將引起三級閥中位壓力變化。

前置閥的額定流量是由三級閥的功率級滑閥尺寸、閥心行程以及要求閥的頻率響應(yīng)所決定的。按功率級滑閥的直徑為3cm，閥心行程為0.18cm，閥的幅頻寬為100Hz來計算，要求的前置級提供的負(fù)載流量應(yīng)為8L/min。而通常檢測前置級的動態(tài)特性時，一般是以輸入信號的幅值為額定電流的1/4，故將流量乘以4倍作為選定的前置級額定流量。通過計算選用了額定流量為30L/min的閥作為前置閥。試驗證明，如選用流量比30L/min更大的閥，當(dāng)然也能滿足三級閥的要求，然而流量增大了，即前置閥提供的流量增益也將增大，而三級閥整個回路增益是一定的，流量增益增大，放大器的增益相應(yīng)降低，由此導(dǎo)致電器部分可調(diào)增益減小，以致回路參數(shù)變化較為靈敏，故確定用額定流量為30L/min，并且分辨率小于0.3%，閥的幅頻寬為lOOHz以上的閥為前置級閥。

(3)液動力。二級閥的閥心較小，其液動力的影響在研制時往往忽略不計。但三級閥的閥心較粗，其液動力的影響較大。為減少滑閥流道內(nèi)液動力的影響，增加閥心兩端頸部的直徑或使用回流凸肩補償液動力的方法，將主閥心截流邊設(shè)計成帶有弧度的形狀，來補償液動力對伺服閥性能的影響。

(4)閥體流道及材料，在設(shè)計中考慮到閥體流道的暢通及主閥心的驅(qū)動力，將閥體結(jié)構(gòu)設(shè)計得很大。國外產(chǎn)品一般采用鑄件，由于是試制產(chǎn)品，批量較小，單件澆鑄成本較高，目前考慮采取購買能實現(xiàn)類似功能的大流量電磁換向閥的閥體鑄件，再根據(jù)要求自行加工的方法來解決。其閥體中各油路之間需用工藝孔溝通，在試制時各工藝孔用球堵將其密封。在試驗過程中，壓力升至23MPa時，在工藝孔處出現(xiàn)漏油現(xiàn)象。通過密封工藝上的改進(jìn)解決此類問題。在以后的再加工中，將閥體的材料改用鑄鋼，以確保密封的可靠性。

(5)位移傳感器。位移傳感器是電反饋伺服閥的關(guān)鍵部件。采用位移傳感器反饋電液伺服閥的閥心位移信號，構(gòu)成閉環(huán)控制，可大大提高伺服閥的響應(yīng)速度和控制精度，對提高伺服閥的整體性能起到重要作用。由于位移傳感器要內(nèi)置于閥體內(nèi)，所以傳感器的體積是選擇條件之一。另外行程范圍、線性度及分辨率都是要考慮的因素。位移傳感器的靈敏度要高，行程范圍主要根據(jù)三級閥的閥心zui大位移來選擇，其線性度要求小于等于0.1%，體積越小越好。為確保產(chǎn)品研制成功，選擇了高性能、價格相對便宜的Schaevitz傳感器。根據(jù)三級閥的計算，其閥心行程在±1.8mm范圍內(nèi)，采用的位移傳感器是HCA 125。

(6)電路控制器。電路控制器的設(shè)計主要包括線性差動變壓器(LVDT)調(diào)制解調(diào)電路設(shè)計和放大器電路設(shè)計兩部分。整個電路控制器設(shè)計可以單獨進(jìn)行調(diào)試，系統(tǒng)調(diào)試時通過修改參數(shù)，能夠改變各環(huán)節(jié)增益。電路設(shè)計預(yù)留多處電位器調(diào)節(jié)，方便增益參數(shù)的改變。調(diào)制解調(diào)電路和放大器電路分別獨立設(shè)計，所有印制電路板設(shè)計中均采用分立元件。